湖南红太阳光电取得石英腔室等离子清洗装置专利，清洗效率高
金融界2025年4月2日消息，国家知识产权局信息显示，湖南红太阳光电科技有限公司取得一项名为“一种石英腔室等离子清洗装置”的专利，授权公告号 CN 222700402 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种石英腔室等离子清洗装置，包括：石英腔室、真空泵和集成式ICP发生器，所述真空泵与石英腔室连通，所述石英腔室上设有用于输入工艺气体的进气法兰，所述集成式ICP发生器可拆卸设置在石英腔室内部；当石英腔室进行清洗时，所述集成式ICP发生器的放电端同轴固定在石英腔室内，集成式ICP发生器的电源端设置在石英腔室外部，通过集成式ICP发生器进行辉光放电，以激发工艺气体电离成等离子体，完成石英腔室干法清洗；当石英腔室完成清洗后，将集成式ICP发生器移除。本实用新型具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点，清洗时无需将石英腔室从LPCVD设备中拆装，有利于提高设备产能。
天眼查资料显示，湖南红太阳光电科技有限公司，成立于2009年，位于长沙市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本65270.9万人民币，实缴资本65270.9万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南红太阳光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息402条，此外企业还拥有行政许可9个。
本文源自金融界
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